| ردیف | پروژه | پارامترهای فنی |
| 1 | ابعاد کلی (طول × عرض × ارتفاع) میلیمتر | 1860 میلیمتر*1470 میلیمتر*2000 میلیمتر |
| 2 | وزن تجهیزات (کیلوگرم) | 2550 کیلوگرم |
| 3 | منبع تغذیه | 3PH-AC380V+N+PE, 50/60Hz |
| 4 | کلید مدار / کلید اصلی آمپر | 40A |
| 5 | توان کل تجهیزات | 30KW |
| 6 | توان منبع تغذیه RF، فرکانس | 10KW @ 40KHZ |
| 7 | توزیع الکترود | توزیع عمودی، با خنکسازی مستقل هر الکترود |
| 8 | تعداد الکترودها | 16 عدد |
| 9 | کنترلکننده جریان | Warwick |
| 10 | پیکربندی استاندارد گاز 3 مسیر | یک کانال 2000 sccm، دو کانال 5000 sccm |
| 11 | سیستم کنترل نرمافزار | رابط چینی و انگلیسی |
| 12 | برند سیستم پمپ خلاء | Edwards |
| 13 | منبع تغذیه RF RF | AE |
| 14 | ظرفیت سرعت مکش | 1160 متر مکعب بر ساعت ظرفیت مکش 1160 متر مکعب بر ساعت |
| 15 | فشار کاری خلاء | فشار کاری در جریان اکسیژن ورودی 2.0-2.5 لیتر بر دقیقه محدوده قابل کنترل 180-300 mTorr |
| 16 | حداکثر اندازه برد تولیدی | 27 × 44 اینچ (22 * 27 اینچ 30 قطعه/کوره) |
| 17 | ضخامت استاندارد برد تولیدی | 0.03-9 میلیمتر (برای برد نازک زیر 0.5 نیاز به فیکسچر برد نرم سفارشی است) |
| 18 | حداقل اندازه برد تولیدی | 4 × 4 اینچ |
